常大主页 | English   
   
   
    
当前位置: 首页  实验室工作  电子科学与技术专业实验室
电子科学与技术专业实验室

 

电子科学与技术专业实验室简介

 

一.建立目的
    电子科学与技术专业是数理学院主要的本科专业之一,该专业培养的学生要求具备器件物理、电子器件、电子薄膜材料、微电子工艺和设计等宽广的理论基础和实验能力,能在该领域内从事各种电子材料、元器件、集成电路、乃至集成微电子系统和光电子系统的设计、制造和相应的新产品、新技术、新工艺的研究、开发等方面技术工作。另外,数理学院的电子科学与技术系还有以凝聚态薄膜材料和非常态器件为方向的凝聚态物理硕士点和材料学硕士点。因此,电子科学与技术专业实验室的建立是为了满足本科教学与研究生的培养要求,成为专业实验课教学、本科毕业论文实验、研究生论文实验等方面的实验基地,同时还为教师的科学研究提供较好的实验条件。
 
二.服务对象
1. 电子科学与技术专业。应用物理专业本科生;
2. 凝聚态物理专业、材料学专业研究生;
3. 本专业及外专业科研需要的教师。
 
三.主要实验仪器
 
仪器设备名称(型号)
单价
(万元)
 
台套
适合实验
IBED-C600M离子束增强沉积设备        
72
 
1
薄膜的离子束合成,薄膜的离子束溅射沉积、大剂量气体离子注入、离子束刻蚀等
P290A等离子刻蚀机
7.0
1
光刻胶的干法刻蚀、SiNx薄膜等的干法刻蚀
DK250 PECVD设备
8.5
1
SiNx薄膜的沉积
高真空三靶磁控共溅射镀膜系统
38
1
适合于各种金属膜、介质膜、磁性膜、多层膜、弥散复合膜等功能薄膜的溅射沉积
DM-300B 真空蒸发镀膜台
6.0
4
低熔点金属、氧化物薄膜的热蒸发沉积
RTP-500快速热处理设备
6.5
2
低热容样品的快速退火、结晶、快速扩散
JKG-2A 3英寸光刻机
6.5
2
2-3英寸光刻样品的对位、曝光
XBC-1 双目光学显微镜             
1.8
1
实验样品表面形貌观察
Olympus双目光学显微镜
2.5
1
实验样品表面形貌观察
FT-6JA干涉显微镜          
2.0
1
薄膜厚度的测量
SDY-4四探针              
1.8
1
材料的电阻率、薄层电阻的测量
DLY-2型导电类型鉴别仪
0.8
1
半导体材料导电类型的判别
KW-4A旋转涂膜台            
0.7
3
各种溶胶的旋转涂布
XJ4810晶体管特性图示仪
1.0
2
各种二极管、三极管、MOS管的特性测试
CVM-200霍尔效应测试仪
3.5
2
霍尔效应的变温测试
EG&G7265 锁相放大器
5.5
1
微弱电信号测量
EG&G9182 低噪声电流放大器
2.2
1
低噪声电流前置放大
J51100-1/ZF手动金刚刀划片机
1.2
1
半导体芯片、样品片的划片分割
TH2818 自动成分分析仪
2.3
1
薄膜样品阻抗、容抗、频率特性分析
Sun Blade2000 集成电路设计系统
26
1
集成电路的设计、修改与验证
温控马福炉(程控)
1.0
1
实验样品退火
 
四、能开设的主要实验
 
 
序号
    实验名称
实验一
真空测量与Al膜的蒸发沉积
实验二
薄膜材料的物理性能测试
实验三
变温霍尔测试
实验四
晶体三极管、场效应管的电学性能测量
实验五
溶胶-凝胶法薄膜制备
实验六
SiN x薄膜的PECVD沉积
实验七
光刻原理及操作
实验八
薄膜材料的等离子刻蚀
实验九
材料表面的离子束改性
实验十
薄膜的离子束辅助沉积
实验十一
金属薄膜的离子束溅射沉积
实验十二
薄膜材料的离子束刻蚀
实验十三
金属薄膜的磁控溅射沉积
实验十四
氧化物薄膜的磁控溅射沉积
实验十五
二层金属复合膜的磁控溅射沉积
实验十六
三元弥散复合膜的磁控汇聚溅射沉积
实验十七
集成电路的版图设计与验证
实验十八
微电子器件工艺的理论模拟


快速通道
常大首页 常大邮箱 财务查询 毕业设计 教务管理 网络课堂 精品课程 常大图书馆 天气预报 列车时刻
版权所有© 常州大学 数理学院管理登录
地址:常州市武进区滆湖路1号*常州大学*数理学院 邮编:213164 电话:0519-86330301
Copyright © School Of Mathematics & Physics, Changzhou University.